שם הסטודנט
:
עמית כהן
מחלקת הלימוד
:
הנדסה מכנית
שם המנחה
:
אבישי שור
אמבט לאיכול רטוב של פרוסת חצי מוליך
תערוכת
פרויקטי
גמר
2013 1
מטרת הפרויקט
:
כיום ייצור של פרוסת וואפר נעשה ע
"
י ציוד מורכב אשר מייצר
כמה פרוסות וואפר במקביל
,
עיקר פעולתן הוא ייצור פרוסות
חצי מוליך העשויות מסיליקון
.
מטרת הפרויקט היא לייצר מכונה
פשוטה יחסית אשר תאכל פרוסת סיליקון וניתן יהיה לשלוט על
פרמטרי האיכול
)
Recipe
.(
בנוסף ניתן לאכל פרוסות העשויות
מחומרים אחרים בעלי תכונות אחרות
.
דרישות עיקריות
:
מתן שליטה על פרמטרי איכול קבועים מראש
.
עמידות חלקי המכונה בתנאים חומציים
.
ביצוע פעולת האיכול והשטיפה אוטומטית
.
268...,93,94,95,96,97,98,99,100,101,102 82,83,84,85,86,87,88,89,90,91,...1